Yfirlit yfir ljósþol
Ljósþol, einnig þekkt sem ljósþol, vísar til þunnfilmuefnis sem leysni breytist þegar það verður fyrir útfjólubláu ljósi, rafeindageislum, jónageislum, röntgengeislum eða annarri geislun.
Það er samsett úr plastefni, ljósvökva, leysiefni, einliðu og öðrum aukefnum (sjá töflu 1). Ljósþolsplastefni og ljósvökvi eru mikilvægustu þættirnir sem hafa áhrif á virkni ljósþols. Það er notað sem tæringarvarnarefni við ljósritunarferlið.
Við vinnslu á hálfleiðurum er hægt að nota viðeigandi sértækt ljósþolsefni til að skapa þá mynd sem óskað er eftir á yfirborðinu.
Tafla 1.
| Innihaldsefni ljósþols | Afköst |
| Leysiefni | Það gerir ljósþolið fljótandi og rokgjarnt og hefur nánast engin áhrif á efnafræðilega eiginleika þess. |
| Ljósmyndandi | Það er einnig þekkt sem ljósnæmir eða ljósherðandi efni, og er ljósnæmur þáttur í ljósþolsefni. Það er tegund efnasambands sem getur brotnað niður í sindurefni eða katjónir og hafið efnafræðilegar þverbindingar í einliðum eftir að hafa tekið upp útfjólubláa eða sýnilega ljósorku af ákveðinni bylgjulengd. |
| Resín | Það eru óvirk fjölliður og virka sem bindiefni til að halda mismunandi efnum í ljósþolnu efni saman, sem gefur ljósþolnu efninu bæði vélræna og efnafræðilega eiginleika. |
| Einliða | Það er einnig þekkt sem virk þynningarefni, eru litlar sameindir sem innihalda fjölliðanlega virknihópa og eru lágsameindasambönd sem geta tekið þátt í fjölliðunarviðbrögðum til að mynda plastefni með hásameindaþyngd. |
| Aukefni | Það er notað til að stjórna sérstökum efnafræðilegum eiginleikum ljósþols. |
Ljósþol eru flokkuð í tvo meginflokka eftir því hvaða mynd þau mynda: jákvæð og neikvæð. Meðan á ljósþolsferlinu stendur, eftir lýsingu og framköllun, leysast útsettu hlutar húðunarinnar upp og óútsettu hlutar eftir. Þessi húðun telst jákvæð ljósþolsmynd. Ef útsettu hlutar verða eftir á meðan óútsettu hlutar leysast upp, telst húðunin neikvæð ljósþolsmynd. Ljósþol eru flokkuð frekar eftir ljósgjafa og geislunargjafa sem ljósþolsmyndir eru flokkaðar í útfjólubláa (þar með taldar jákvæðar og neikvæðar útfjólubláar ljósþolsmyndir), djúp útfjólubláa (DUV) ljósþolsmyndir, röntgenljósþolsmyndir, rafeindaljósþolsmyndir og jóngeislaljósþolsmyndir.
Ljósþol er aðallega notað við vinnslu fínkornaðra mynstra í skjáspjöldum, samþættum hringrásum og stakrænum hálfleiðaratækjum. Framleiðslutæknin á bak við ljósþol er flókin, með fjölbreyttum vörutegundum og forskriftum. Framleiðsla samþættra hringrása í rafeindaiðnaðinum setur strangar kröfur um ljósþolið sem notað er.
Ever Ray, framleiðandi með 20 ára reynslu sem sérhæfir sig í framleiðslu og þróun ljósherðanlegra plastefna, státar af 20.000 tonna árlegri framleiðslugetu, alhliða vörulínu og möguleika á að sérsníða vörur. Í ljósþolnu efni notar Ever Ray 17501 plastefni sem aðalþátt.
